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在7月15-17日在旧金山召开的SEMICON West 2008上, 帕纳科公司推出了新开发的经过检验的一种软件，它用于用X射线荧光(XRF)测定薄膜的厚度和成分。新的SuperQ 4.0 Thin Film软件包的主要特点是升级的基本参数软件(FP Multi)用于分析复杂的多层堆叠，是同类…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-07/2008718064946.htm -- 2008-7-19 0:00:00
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