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KLA-Tencor 公司日前宣布推出 eS35 电子束侦测系统，该系统能够以大幅提升的速度检测和分类更小的物理缺陷，以及更细微的电子缺陷。eS35 属于 KLA-Tencor 的第十代电子束侦测系统，它具备更高的灵敏度，改善了单机检查和分类，并且显著加强了吞吐能力…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-07/200879010521.htm -- 2008-7-9 0:00:00
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KLA-Tencor 公司日前宣布推出 eS35 电子束侦测系统，该系统能够以大幅提升的速度检测和分类更小的物理缺陷，以及更细微的电子缺陷。eS35 属于 KLA-Tencor 的第十代电子束侦测系统，它具备更高的灵敏度，改善了单机检查和分类，并且显著加强了吞吐能力…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-07/200879104619.htm -- 2008-7-9 0:00:00
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