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半导体与数据存储业设备厂商Veeco InstrumentsInc.日前宣布其Dimension(R) X3D(TM)自动原子力显微镜（AFM）产品性能获得重大提高。作为业界顶级的光掩膜测量系统，Dimension X3D AFM如今已能满足ITRS（国际半导体技术路线图）对掩膜关键尺寸（CD）测…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-04/2007424110259.htm -- 2007-4-24 0:00:00
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半导体与数据存储业设备厂商Veeco Instruments Inc.日前宣布其Dimension(R) X3D(TM)自动原子力显微镜（AFM）产品性能获得重大提高。作为业界顶级的光掩膜测量系统，Dimension X3D AFM如今已能满足ITRS（国际半导体技术路线图）对掩膜关键尺寸（CD）测…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-04/2007418110357.htm -- 2007-4-18 0:00:00
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WA系列原子力显微镜（AFM）是用于300mm晶片非破坏性在线测量的设备。用户可凭借其step-in模式对微观结构，例如浅沟道隔离（STI）在蚀刻过程中的结构变化进行精确测量。它还具有大面积平坦度测量功能，测量面积高达15mm2，测量精度达到纳…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2004-1/20061121430477ac97.htm -- 2004-1-2 0:00:00
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Dimension Vx340TM原子力显微镜（Atomic Force Profiler, AFP）是专门针对CMP特性与工艺控制的量测系统。它结合了专用于CMP的算法、原子力显微镜的清晰度和长程扫描能力，使得其显微结构具有直观、可靠、重复性好的特点，能够很好的控制CMP工艺…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-11/2006112143046f9add.htm -- 2003-11-12 0:00:00
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Dimension X3D 在线式测量工具。它是一种原子力显微镜 (AFM)，能为大批量半导体器件制造提供一个3维分辨的检查工具。它能显示出用先进光刻工艺与蚀刻工艺制备的90 nm 和更小器件的尺寸，也能够收集到接触孔、竖直可重入侧壁、图形边缘粗糙度和光…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-7/2006112143044203aa.htm -- 2003-3-4 0:00:00
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