美国Veeco Instruments公司日前发布一款新Insight全自动三维原子力显微镜（3DAFM ）平台，专为32nm和22nm节点光掩膜高精度的3维量测而设计。InSight 3DAFM-PM具有无与伦比的精确度和精密度，同时它又是一种无损测量，并且能够做高解析度三维量测，特…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-10/20081017111521.htm -- 2008-10-17 0:00:00

匹兹堡大学的研究人员设计了一种方法，可以使用原子力显微镜（AFM）绘画，擦除和修改小于4 nm的导线和直径为2 nm的点，该方法与古老而又流行的素描刻蚀有几分相似。AFM所画的线位于厚度为1.2 nm的镧铝氧化物绝缘层上，该氧化层位于钛锶氧化物衬…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-06/2008619064617.htm -- 2008-6-19 0:00:00

An increasing problem with no known solution is the damage of small structures during wafer cleaning. The damage is seen as pattern collapse or simply as missing structures, blown off the surface of the wafer by the force of the clean. It’s already a well-known result of aggressive megasonic cleans, but can also result from aerosol jet cleani…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-11/2007118105338.htm -- 2007-11-8 0:00:00

　　Nano-DST可以给用户的原子力显微镜（AFM）提供双扫描技术。大面积扫描采用三模型方式，可以在X和Y方向上获得100、200或400 mm的扫描范围。采用弯曲设计和光杠杆探测方法可以实现低弯曲和耦合。SPM控制器使用两个X、Y、Z扫描控制卡，这…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-09/200799011211.htm -- 2007-9-11 0:00:00

　　当谈及“divot”时，多数人可能都会联想到当高尔夫球手的击球没有控制好时，杆头从草地上削去一块草皮而留下的洞。但是，对于器件制造商而言，这个词具有完全不同的含义。电路中，在有源区和被填充的隔离沟槽之间会出现一个divot（缺角）。在浅…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-06/2007615105656.htm -- 2007-6-19 0:00:00

　　负责度量的半导体制造工程师总是要不断地确定他的设备—不管是原子力显微镜（AFM）、SEM还是其它设备—是否被正确校准。这就需要更可靠、可追踪的线宽标准，但这并不总是容易做到的。 　　NIST半导体电子部门的Michael Cresswell领导的研究小…

http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-10/20061014080825.htm -- 2006-10-15 0:00:00