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奥地利Ricmar集团是一家综合半导体制造设备与服务供应商，拥有自动化系统、真空镀膜系统等产品。作为国家光刻设备工程技术研究中心依托单位，上海微电子装备有限公司（SMEE）主要从事用于IC制造的中高端光刻机等关键设备开发，而与Ricmar合…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-06/200868075030.htm -- 2008-6-11 0:00:00
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上海微电子装备有限公司（SMEE）自主研发的SSB500/10A步进投影光刻机将在国内半导体封装线上实现商用。据悉，即将实现商用的SSB500/10A可满足200mm和300mm硅片的多种凸块后封装厚胶工艺需求。 SSB500/10A采用高功率汞灯的g、h、i线作…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-04/200843100301.htm -- 2008-4-7 0:00:00
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