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代表半导体制造业所需的卓越水平的世伟洛克® CR-288® 浓度监测器被《半导体国际》杂志授予 2008 年最佳产品称号。CR-288浓度监测器是获该刊第 19 届年度"编辑选择最佳产品奖"的 20 个产品之一。该奖项用于表彰杰出的半导体制造及相关工业用产品…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-10/20081029104814.htm -- 2008-10-29 0:00:00
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CR-288浓度监控器专为提高对半导体器件制程中液体化学品的监控和控制而设计。安装于工艺流体中或化学品配制、配送的地方，可以实时、高精度地测量工艺流体的浓度和温度。专利的软件能够使用户校准化学混合剂的剂量，可用于实验室或量产制造中。…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-06/2008627115254.htm -- 2008-4-18 0:00:00
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http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-06/200764063040.htm -- 2007-6-28 0:00:00
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本文研究了整平剂分子量和浓度对嵌入式结构铜电镀过程填充率、整平效果、电镀液极化效应以及铜薄膜性质的影响。研究结果发现，当整平剂PVP（polyvinylpyrrolidone）的分子量为3500~1300000、浓度为1~20 mg/L时能够在几乎不影响填充性能的情况下有效…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-06/200764063040.htm -- 2007-6-4 0:00:00
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新一代氨浓度监控装置ESP-1000对空气中氨浓度的测试精度能够达到1 ppb量级。高灵敏度的测试精度以及快速响应的优势允许设备能够在光刻区域中针对空气中氨浓度进行即时监控。ESP-1000也能够依靠对采样气体短时间的测量，定性的分析其成分和浓…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-07/200678041448.htm -- 2006-7-10 0:00:00
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CS-100F1系列化学药液浓度计，是针对目前半导体制造的蚀刻与清洗制成中对于化学药液浓度高精准的苛刻要求而专门设计，通过运用光纤电缆传送光信号的新技术，将监测单元与清洗系统管道的直接整合，实现了实时的在线监测。一台浓度计可以监测…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-02/200628034030.htm -- 2006-2-10 0:00:00
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CR-288为半导体制造商提供一个可靠的，成本有效而且非常有用的系统。它能控制液体化学试剂的浓度，现已安装在CMP和晶圆表面处理设备。这个系统能够节约58%的化学试剂。它应用了优化反馈控制技术，并且能快速传递非常精确的化学试剂地的信息。…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-3/2006112143052222f0.htm -- 2005-3-8 0:00:00
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Composer Monitor Software专门为气体浓度控制而设计的。它能使用户通过PC监测和恢复控制气体输送所需要的所有数据。利用该软件，我们可以实时地画出输送到某工艺的气体浓度曲线。通过工作站就可以恢复、改变工艺参数并传送回Composer软件。它…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-11/20061121430463062e.htm -- 2003-11-12 0:00:00
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