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KLA-Tencor 6月27日正式推出 28xx 明场检测平台的最新成员2810和2815。通过特殊的光学配置，它们能有效地应对亚55纳米存储器件和亚45纳米逻辑器件生产中所面临的独特缺陷检测挑战。无论是适合存储器件缺陷检测的2810系统，还是适合逻辑器件检测的2…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-06/2007628102833.htm -- 2007-6-28 0:00:00
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为帮助客户应对亚 65 纳米及 45 纳米技术节点上新产生的缺陷和成品率挑战，KLA-Tencor近日发布了最新的突破性明场晶片检测平台 2800 系列，它能有效地检测出所有工艺层上的最广泛的关键性缺陷。2800 系列提供了业界唯一的超宽带（深紫外、紫外和可…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-8/2006112143050e7cbf.htm -- 2005-8-22 0:00:00
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