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随着全球半导体重心的转移，本土半导体产业链取得了长足的进步，国产半导体设备也在近年获得快速发展，沈阳芯源微电子设备有限公司（SolidTool）就是其中一家。“国产设备供应商要公平勇敢地参与国际竞争”，日前沈阳芯源总裁宗润福在采访中提…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-03/2008310084615.htm -- 2008-3-10 0:00:00
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沈阳芯源微电子设备公司自主创新研制的匀胶显影设备于近日顺利通过了辽宁省经委组织的新产品鉴定。匀胶显影设备是集成电路制造的关键设备之一，一直以来国内所需的中高端集成电路设备被国外产品所垄断。因此，集成电路设备备被列为国家中长期发…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-12/20071229051130.htm -- 2007-12-29 0:00:00
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据报道，由沈阳芯源微电子设备有限公司研制的12英寸(×300mm)晶圆先进封装设备，于近日在江阴长电先进封装有限公司通过严格的工艺检测验收，已正式投入生产使用。这是国内首台12英寸芯片制造设备，是国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-08/2007831113102.htm -- 2007-8-31 0:00:00
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