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随着全球半导体重心的转移，本土半导体产业链取得了长足的进步，国产半导体设备也在近年获得快速发展，沈阳芯源微电子设备有限公司（SolidTool）就是其中一家。“国产设备供应商要公平勇敢地参与国际竞争”，日前沈阳芯源总裁宗润福在采访中提…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-03/2008310084615.htm -- 2008-3-10 0:00:00
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近两年本土设备商的技术能力取得了长足进步，尤其在产业化方面更是有了突破性进展，可喜可贺。但随着国内主流生产线上本土设备的出现，设备的可靠性、配套工艺的成熟度等正在经受远超先前试验室阶段的考验。暴露出的工艺不稳定、服务能力跟…
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-06/2006617113739.htm -- 2006-6-19 0:00:00
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