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　　全自动硅片监控设备CyberSurf 3D适用于150、200以及300mm硅片。用户能够一次对25枚硅片的图形尺寸、台阶高度、透明薄膜厚度以及粗糙度等特性进行量测。依据测试数据可以对芯片间、硅片间或批次间的表现进行分析。 Fogale Nanotech www.fogale.com
http://article.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-02/200728110348.htm -- 2007-2-9 0:00:00
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