应用材料公司(加州Santa Clara)在德州的奥斯汀建立了专门生产200 mm设备的生产线,用来生产全新的和翻新的200 mm设备。
应用材料全球服务公司成熟技术方案(MTS)部门的总经理Curtis Vass表示,公司早先已经针对不同产品,包括刻蚀、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)及其它,建立了各自的生产线,负责制造200 mm和300 mm设备。从上个夏季开始,公司将所有的200 mm设备订单转移到位于奥斯汀的200 mm专门生产线上进行制造,由Todd Campbell负责。

这种转移不仅涉及设备和资源的重组,还包括人员的内部流动,这一系列行动共同构成了200 mm设备的专门生产线,正如Vass所说的“实现了真正意义上的集中。
Vass表示:“重组的目标在于将有经验的员工集中到一起,能满足客户对于高品质200 mm设备从订货到交货时间的严格要求。其目的在于,保证全新和翻新设备得到同等程度的重视和采用完全相同的生产工艺。提升效率从而获得经济上的收益。”
应用材料公司并没有对外公开其翻新设备生意的市场价值。最近SEMI关于升级落后Fab的研讨会
上,与会者对于翻新设备市场的估计在二十亿美元左右。Vass表示,从1995年应用材料开始涉足设备翻新业务后,累计已经卖出约1000台翻新设备。
Vass表示:“设备翻新利润很高。”这是由于逻辑和存储器公司都对外宣布计划将生产线从200 mm升级到300 mm。在这种情况下,应用材料买回这些被淘汰的200 mm设备后将其翻新,通常升级污染消除、加热以及冷却系统后,再出售给需要扩大200 mm生产能力的客户。
一些生产功率IC、模拟电路和MEMS器件的客户认为此时正是将其生产线从150 mm升级到200 mm的好时机。Vass表示:“对于某些特殊的应用,成本一度是制约其生产线从6英寸升级到8英寸的主要原因。与过去相比,现在这样的升级变得容易了许多。”
新的需求来自“超越摩尔定律”的集成技术,很多这样的新技术都率先发生在200 mm生产线。很多客户为了新的应用,如:应用于混合型燃料汽车的功率IC器件所要求的厚膜外延工艺,开始购买200 mm生产设备。
目前业界普遍认为中国是200 mm设备最大的市场,但是Vass表示,对于200 mm翻新设备的需求是“遍布全球的”。
目前,不仅像应用材料这样的设备制造商在经营翻新设备市场,还存在不少第三方的设备供应商也在做设备翻新的生意。有些设备被升级成全新的设备,还有一些已经停产的设备,例如:应用材料的离子注入设备,都可以在翻新设备市场上购得。