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太阳能电池磁控溅射技术

   2008-06-11   点击:627

　　Onyx-Revolution是一款旋转柱状磁控源，主要用于太阳能电池的优化应用。采用形状经过设计优化的磁体，可以在源和衬底之间获得近似垂直的沉积，这样可延长运转周期，降低清洗要求，获得更高的成品率。等离子源的靶材利用率高达85%或更高，平均每个柱状磁控源可节约20%的成本。

太阳能电池磁控溅射技术


Angstrom Sciences Inc., Duquesne, Pa.,
www.angstromsciences.com
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