Da Vinci Prime是Da Vinci单晶圆湿法清洗工具的升级版本。该工具具有“双重用途”，可以处理要求严苛的后道（BEOL）应用，也可以用于稍微宽松的前道（FEOL）应用。该系统具有两种配置：一种是单一的前端机器人（最大吞吐量250 wph），另一种是可用于“理想”工艺的双重前端机器人（最大吞吐量350 wph）。
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