浓度监控器

   2008-04-18   点击:231

CR-288浓度监控器专为提高对半导体器件制程中液体化学品的监控和控制而设计。安装于工艺流体中或化学品配制、配送的地方,可以实时、高精度地测量工艺流体的浓度和温度。专利的软件能够使用户校准化学混合剂的剂量,可用于实验室或量产制造中。该监控器可在一个数字显示屏上监测多达4通道独立流体。

Swagelok, Solon, Ohio,        

www.swagelok.com

 

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