Axi 940是全表面Explorer Inspection Cluster设备的一部分，主要用于对晶圆前表面的宏观缺陷检测。其智能软件可以自动完成很多操作员才能完成的任务，因而降低了配方准备的时间。Axi还可以在簇群其他部分仍处于运行状态时进行离线的配方准备。Rudolph Technologies Inc., www.rudolphtech.com
