Cascade Microtech已经开发出两种Pyramid参数探针卡可用于65和45 nm及以下工艺,进行单次通过的高性能DC和RF测量。这两种探针卡可以用于30 μm2的测试焊盘。采用了MicroScrub技术,可以获得一致并且更小的划痕和更均匀的标记,还可以降低造成晶圆污染微粒的产生。
Cascade Microtech, Beaverton, Ore.,
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