这是第一次直接把半导体线状激光器应用于太阳能电池薄膜玻璃基底中。这个新激光模块是LIMO350-L12x0.1-DL808-EX420,在12 x 0.1 mm提供350瓦激光功率,其具有的两个最重要的特征是高功率密度和高度均匀化功率分布。这两个特性能处理生长在硅基底上的C-Si.它比较传统的准分子激光器的优点在于:紧凑封装、免维护、低价格和短处理时间。
此新型激光器是最优化和开发工具,可以得到更长的线状输出,标准化的结构可以缩放线长度,例如:可以很快得到一个300 mm来减少处理时间和在当前的技术中非常经济方案。特别地,LIMO可以做到在12 mm的线条上输出1.5 kW激光。功率密度高达130 kW/cm²就能在处理半导体芯片制程中减少缺失和掺杂物的纯度或者p-n结。
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