Versaline系列产品适用于研发和生产的日益发展的专业市场,主要针对市场:广泛的化合物半导体;MEMS和纳米科技,拥有多种专利和奖项,如气体快速切换、SOI 工艺应用等。主要应用系统为ICP Etcher、Pulsed High Frequency RIE 、PECVD 。