大缺陷检测模块AXi 940 作为多表面检测系统all-surface Explorer™ Inspection Cluster的一部分能完成晶圆正面检测功能，可在较低的成本下实现快速、精确、可靠的大缺陷检测功能。AXi 940 的智能软件显著减少了建立菜单所需的时间，此外，allsurface Explorer™ Inspection Cluster可以在其他模块处于生产状态下，实现AXi 940脱机建立菜单。Axi 940整合了AXi 和Waferview 产品线独特的技术优势，同时配合通过提高生产效率、可靠性、减少人工操作使拥有成本降低。
