DaVinci(R)（达芬奇）平台升级新品Da Vinci PrimeTM（DVP）整合了SEZ集团已经验证、高产能的Da Vinci 技术与Esanti(R)系统中的一些最新功能，最终形成了一个灵活的、可双向使用的（BEOL和FEOL）单晶圆湿式处理平台。DVP 目标锁定BEOL 和 FEOL应用的结合，包括聚合物的剥离、斜面清洗、高K介质斜面清洗、高K介质湿式蚀刻、接触点清洗、扩散预清洗门极清洗，以及预硅化清洗等工艺，特别是65纳米以下的制造中以及涉及一些新型材料时。其先进性包括：双面处理、Active Jet非损伤性缺陷去除喷射技术、SEZ的专利ASD表面干燥技术，最大程度地降低水痕衍生和图形失效，以及多种化学制剂再循环功能。
SEZ
www.sez.com
