Pall UltiKleen Excellar ERL 是最新的非去湿PTFE膜的化学品过滤器。该产品具有20nm的颗粒去除能力，满足小于65nm工艺节点的先进制程需求。超大的过滤面积设计，使产品具有较大的流量特性和更长的使用寿命，降低设备运营成本（CoO）。Pall UltiKleen 技术保证产品自身具有极高的洁净度，离子析出率可达到ppb水平。Excellar ERL 采用Pall 专利的分子表面裁剪（MST）技术，不仅提高了过滤器的通量，更增强了PTFE膜在水性高温化学品（如SPM）中的过滤性能。
颇尔过滤器（北京）有限公司
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展位号：W4-4143
