FEI公司的中国纳米港1月18日在上海张江高科技园区正式揭幕并宣布投入使用，这是继北美、荷兰、日本之后，FEI全球第四家纳米港。FEI中国纳米港引进了公司的纳米显微镜，为纳米三维材料结构表征与性能分析提供超高分辨率显微技术和设备。纳米港除了作为FEI向其客户及合作伙伴展示其产品的一个演示中心以外，亦为FEI应用技术专家和合作伙伴共同致力于未来的新观念、新技术和新方案的研究和开发提供了一个平台。
纳米半导体作为FEI三大主要业务之一，主要致力于半导体以及数据存储厂的产品开发、过程控制以及失效/缺陷分析。其核心技术及产品包括了透射电子显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束、双束系统等，这些产品在中国的运行数量目前已经超过了500台。据FEI全球销售与服务执行副总裁卢钰霖介绍，目前广泛应用于半导体制造量产的主要有Helios NanoLab、Tecnai和Quata系列，其中Helios NanoLab能容易地分析65以下级纳米设计节点的半导体材料。
而作为FEI的顶级产品Titan系列于去年推向市场，比FEI原有产品的显微能力提高了一个数量级，主要应用于功能性微结构材料及薄膜材料界面
的研究，尤其是针对电子材料、半导体材料、超导材料、电介质材料、铁电材料及磁性材料等。目前主要针对45nm或更先进制程有需求的半导体公司以及一些院校的科研工作。而在中国的首台Titan系统安装于清华大学，用于材料的分析研究。卢钰霖相信，随着中国半导体制造工艺水平的发展，Titan进入中国的半导体制造公司也是一个必然。据FEI上海公司销售总监阎兆旺介绍，张江及周边地区的装机量就占了FEI中国总装机量的20%，FEI许多全球及中国重量级客户也在此落户。