英国威格斯(Victrex)宣布,该公司以VICTREX PEEK聚合物为基础的VICOTE涂料,获得了光电、半导体设备制造商擎邦国际(King Polytechnic Engineering)采用,将应用于2、8、12吋以上晶圆,与LCD面板的中大型/DIP/SPIN设备系列上。
Victrex表示,VICOTE 804 BLK所具有的优异耐化学性、耐高温性与绝佳的附着性,可取代旧有的PTFE涂层。VICOTE涂料可减少涂布机在显影、蚀刻与去光阻制程中所产生的发尘量,不但可延长设备使用寿命与减少设备维修需求,更可提升晶圆与LCD面板的生产效率与制程良率。
而无论半导体或LCD制程,黄光微影是最关键也是最困难的步骤。光阻剂、蚀刻液与显影液需透过SPIN/DIP方式,才可以在晶圆与玻璃基板面板完成制造(fabrication)。面对高酸碱化学物质与高温等极为严苛的制程环境,设备的稳定与均匀性直接影响着晶圆与LCD面板的成品良率。采用VICOTE涂料可减少设备维修需求与停工时间,进而提升晶圆与LCD面板的生产效率与制程良率。
VICOTE涂料是以VICTREX PEEK聚合物
为基础的新世代长效耐久型涂料,提供抗刮伤、耐磨耗、耐高温、强度和尺寸稳定性。VICOTE涂料包括粉体与液体两种形式,VICOTE 700系列粉体涂料可按涂层厚度或温度需求以静电涂装方法施工,而VICOTE 800系列液体涂料适用于涂层较薄需求或形状较复杂的工件。