沈阳芯源微电子设备公司自主创新研制的匀胶显影设备于近日顺利通过了辽宁省经委组织的新产品鉴定。匀胶显影设备是集成电路制造的关键设备之一，一直以来国内所需的中高端集成电路设备被国外产品所垄断。因此，集成电路设备备被列为国家中长期发展规划中重点发展的十六大专项之一。
据了解，芯源公司通过引进国外先进匀胶显影技术，在消化吸收的基础上不断创新提高，掌握了匀胶显影整机设计技术，并在核心单元技术方面取得关键性技术突破,共申请了这一技术领域的专利38项，其中发明专利16项，使产品完全拥有自主知识产权，其国产率达70%。目前已形成满足国内多层面用户需求的四个系列产品，并建立了企业标准。其中适8英寸前工序晶圆生产线的匀胶显影机是国内首台用于大规模集成电路生产线的国产设备。今年新推出的国内首台12英寸后道封装匀胶机是集成电路装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。中芯国际是全球第三、国内最大的芯片代工厂，芯源的设备被中芯国际授予2006年“最佳供应商”称号。芯源成立五年来，已成为国内晶片处理匀胶显影技术行业的领先企业。
产品鉴定委员会认为沈阳芯源公司研制的匀胶显影系列设备填补了国内
空白，达到国际先进水平；其技术指标与国外同类产品水平相当，性价比和售后服务均优于国外同类设备；是国外进口设备和二手设备的良好替代品。该产品市场前景广阔，具有良好的经济效益和社会效益，建议进一步提高国产化率、加速市场推广应用。