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国产首台直写式光刻机在肥成功问世 打破赖进口局面

来源:重庆法制报   2007-12-26   点击:896

12月25日,国内首台直写式光刻机合肥成功面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。位于合肥经济技术开发区的芯硕半导体(中国)有限公司此次研制的直写式光刻机,操作便捷、运行成本低,产品处于世界同类产品领先水平。


        我国目前生产用光刻机全部依赖进口。芯硕半导体(中国)有限公司于2006年落户合肥。该公司拥有多项有关集成电路设备的关键技术。

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