就强化二手装置业务发表讲话的Novellus Systems公司副总裁兼总经理David Celli
著名半导体制造装置厂商美国Novellus Systems将强化面向150～200mm生产线的二手装置业务。此次认证了多家专门为二手装置提供支援的第三方企业。今后，计划以每年8～10％的速度提高二手装置业务的销售额。
“日本厂商是最大客户”
Novellus表示，在存储器厂商及半导体代工生产线向300mm发展的同时，“制造独立半导体和模拟部件的150～200mm生产线用装置的需求也大幅增长”（该公司副总裁兼总经理David Celli）。另外，08年以后存储器用产品方面将出售丧失成本竞争力的150～200mm生产线，该公司预计上述生产线用二手装置的需求将不断增长。尤其是日本，将成为该公司二手装置业务的核心市场。据该公司表示，在日本有85个基地拥有150～200mm生产线，该公司07年二手装置业务销售额的40％来自日本市场。
此次Novellus认证的第三方企业除日本的Kotec、Arrows外，还包括台湾，韩国、欧洲及北美的企业。该公司将得
到这些第三方企业的支援，从事二手装置的维修，供应虽然由二手部件构成却支持新工艺的再生装置。
另外，支持300mm生产线的新装置方面，“面向存储器厂商的产品销售额不断增长”（Evecutive副主席Thomas Caulfield）。日本市场方面，07年向NAND型闪存厂商和NOR型闪存厂商供应了支持铜布线工艺的装置。今后，“预计DRAM厂商的采用也会增加”（Thomas Caulfield）。