Vector Extreme是一款PECVD工具，其生产率高达250 wph。该工具可以集成多达三个顺序工艺操作模块，在一个中心晶圆处理腔的基础上可以实现12个沉积台。如果采用这样的设置沉积用于存储器器件较厚的薄膜，其吞吐率可加倍。Novellus Systems Inc.www.novellus.com
