Model TTC-H5是一款具有五个温度范围的时间控制器，可用于所有的刻蚀、去胶和湿法显影工艺。每个单独的范围包括工艺温度设置点、PID参数、EEPROM存储器，可以在没有电源的情况下将数据保持10年，以及高、低温警报设置点。Integral Systems Engineering Inc.www.iseint.com
