Intel总裁兼CEO Paul Otellini近日表示,尽管业界对450mm晶圆技术仍有异议,但Intel仍将继续开展450mm晶圆技术的研发,并希望与设备商展开合作。
据悉,受到Intel强劲依托的芯片制造协会Sematech此前发布了一项推进450mm晶圆的计划,但该计划饱受争议,尤其是在设备商和制造商之间,争论的焦点在于谁该为450mm晶圆设备的巨额研发成本埋单。
而Otellini在采访中表示,Intel对450mm晶圆技术仍十分感兴趣,因为该技术是未来迎合成本曲线的理想方法。
他还表示,Intel目前尚未设定下一代晶圆尺寸的进程表,公司很愿意和设备商合作,而不是处于敌对,共同进入450mm领域。
分析师表示,如果450mm晶
圆技术得以推进,众多Intel的设备供应商们最终还是会展开450mm晶圆的开发。这些设备商包括Applied、ASMI、Hitachi、KLA-Tencor、Nikoon、Novellus、Varian等。