随着半导体工艺的快速发展,特种气体在半导体制造领域的应用也不断开辟了新的疆土。对于二十年来专注于准分子激光气体研发的Spectra Gases来说,是挑战,更是机遇。
创始于一九八零年的Spectra Gases Inc.(美国光谱特种气体公司),为研发、生产超高纯气体、特种混合气、同位素的跨国公司。它二十六年来致力于特种气体的研发,并以强劲的技术后盾“稳定”地为全球客户提供“稳定”的准分子激光气体气体。这第一“稳定”是货源稳定:Spectra Gases始终以光刻气体作为主导项目,持续不断的投资,产能持续扩大,这就保证其业务的稳定性。第二“稳定”是气体性能的稳定:Spectra Gases准分子激光气体保证了激光能量的稳定、光束质量以及脉冲与脉冲间的稳定,这也是评判准分子激光气体优越性最为重要的指标。这双稳定性也为Spectra Gases赢得了稳固的客户关系。
经过多年的经营和积蓄,现今Spectra Ga
ses已取得不俗的成绩:拥有超过全球80%的光刻气体市场份额,是激光器生产商Cymer和光刻机生产商ASML、Nikon的独家光刻气体供应商,也是Gigaphoton、Canon的首选光刻气体供应商。世界著名的芯片厂商绝大部分都是其客户,例如:美国TI、INTEL、IBM、日本Toshiba、Elpida、韩国Hynix、Samsung 、中国台湾TSMC、Powerchip等。05年Spectra Gases正式进入中国市场,为中国一线晶圆厂提供光刻气体。国内市场份额持续扩大,客户包括了中芯国际、无锡海力士、台积电(上海)、宏力半导体、华润上华等。
过去的一两年,全球光刻气体供应链发生了很大的变化。两年前,全球准分子激光气体生产商不过2、3家。但是现在,一家美国气体公司撤出光刻气体市场,一家在日本的英法合资公司也因为企业整合,业务方向发生了变化。如今只有Spectra Gases,还是一如既往的“专注”,稳定的生产和供应准分子激光气体。
在中国半导体技术研发水平快速提升的进程中,Spectra Gases中国区总裁Mark Yang希望可以切实的服务于客户,协助客户研发气体标准,最大化提高客户生产力,满足国内与日俱增的需求。