SSEC 3404湿法处理器可用于平板显示器的制造,实现以每小时100片的速度生产面积达500 x 500 mm的平板。采用单一加工平板技术,该系统提供全自动的干燥进料/干燥出料方案,可以以最低的投入成本获得最高的质量性能。
SSEC 3404的四步工艺模块可以根据客户的需要进行清洁、涂覆、显影、刻蚀和去胶。由于该系统具有应用广泛的机器人和全部功能的可编程性能,因此可以支持高速、并行的工艺操作——可达每小时处理100片平板,或者进行复杂的串行工艺。如果添加了另一台PC,SSEC 3404可以共享一个机械装置,进行两个单独的双模块工艺。
Solid State Equipment Corporation
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