Rudolph Technologies 日前宣布将为光刻设备供应商ASML Holding NV (ASML)提供边缘检测工具，助其提升浸没式光刻工艺中晶圆缺陷检测控制过程,使浸没式光刻生产能力最大化。缺陷检测工作将在ASML荷兰Belhaven总部进行，并利用Rudolph公司全套表面检测系统，包括：E25 edge边缘检测,Axi topside以及B20 backside晶圆检测系统。
