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Aviza和Mosel达成合作协议 共同研发用于闪存的ALD材料

来源:EE Times   2007-09-13   点击:553

芯片设备制造商Aviza Technology Inc.日前和台湾芯片制造商Mosel Vitelic Corp.合作开展了一个研发项目。该项目将开发先进的原子层淀积ALD)材料,用于下一代闪存芯片中。


        根据合作协议,Aviza将提供ALD相关的专业技术,而Mosel将完成器件设计和工艺集成等任务。此次合作是在Semicon Taiwan展会上宣布的。


        据悉,该项目将使用Aviza的Celsior fxP单晶圆ALD系统来开发所需要的薄膜,而Mosel将关注于先进闪存器件的设计与制造。


        Aviza总裁May Su在一份声明中说道:“Aviza当前的目标是为闪存和逻辑芯片开发特殊的ALD技术方案,此次合作正是为了实现这一目标。”

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