DuPont Electronic Technologies近日宣布以产业会员的身份加入IMEC 45nm和32 nm技术发展项目,参与其中的清洗、污染物控制和先进互连部分。在最初两年的项目中,DuPont旗下EKC Technology将在IMEC常驻员工,为其铜/低k等比Scaling项目开发新的CMP后清洗解决方案。另外,EKC将利用IMEC技术来测试新研发的刻蚀后残留物去除产品。 EKC Technology期望通过加入和其他产业会员的紧密合作,使用于先进互连的技术实现商业化。