短波长光源产品供应商Energetig Technology. Inc.将在旧金山举行的SEMICON(R) West 2007上推出其最新的创新光源产品Satum(TM)深紫外光（Deep Ultra Violet，DUV）曝光灯子系统。该系统是一款无电极高强度DUV光源，工作波长为170nm～400nm，可为光学处理和清洁等应用提供光能。短波长光是薄膜和表面工艺应用中的理想光源，它可以避免硅片等衬底遭受电气损伤或热损伤。
“我们非常高兴可以在SEMICON West上展示我们的最新的先进技术。”Energetig首席执行官Paul Blackborow说道，“基于我们开发业内最可靠EUV光源的经验，我们公司可以提供目前最大能量密度的DUV光源，为300mm硅片衬底提供均匀照射。Satum子系统采用了我们专有的感应耦合技术，可获得170nm波长DUV光的最强劲输出，这可以减少工艺时间并大大降低拥有成本。
Satum子系统的封装使其易于与工艺设备集成。该子系统还搭载了电源、内部水冷和循环氮气冷却系统，以避免有毒臭氧的产生。灯腔内部的灯泡是无电极的，
因而可以消除来自电极碎片的玷污并延长灯泡寿命。灯泡保持低温也能减少硅片衬底的受热，从而大大提高工艺灵活性。