采用Model 9200光刻系统，用户可以获得应用于大面积基板的先进光刻技术，其分辨率可达1.5 mm。所有的子系统都是全集成的，并包括一个高度可靠的投影透镜和照明系统。低偏差的光学元件和度量能力可满足制造X射线探测器的要求。该系统还配有多种透镜可满足有源阵列LCD、FED、OLED和多晶硅等不同器件的要求。Azores Corp www.azorescorp.com
