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Aviza的Sigma fxP PVD设备获得中芯国际订单

   2007-03-26   点击:172

  Aviza Technology在3月20日宣布已经获得了中芯国际旗下位于成都的成芯半导体制造公司订购Sigma fxP PVD设备的订单,订购的设备将主要应用于功率器件制造中互连层的加工。该订单是继Sigma fxP系统于2006 年第三季度获得中芯国际(天津)成功认可后的后续订单。

Aviza的Sigma fxP PVD设备获得中芯国际订单


  Sigma fxP系统是单晶圆串簇集成式PVD设备,其淀积工艺模块采用标准设计,可通过技术升级来适应各种尺寸的晶圆;并且根据不同的工艺反应腔室的配置与组合能够满足多种不同类型的特殊应用,主要应用于Ti/TiN衬底层和用于0.35μm 技术节点以下器件的铝互连层的淀积等。

  中芯国际首席运营官Macro Mora 在认可Sigma fxP系统在生产上的价值以及灵活的适应性的同时表示,Aviza 的团队能够对设备提供良好的跨地区技术服务及支持。Aviza 总裁兼CEO Jerry Cutini 认为,此次订单的获得是Aviza在中国市场推广其产品应用战略布局中的重要一步。





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