“300mm生产线将是中国晶圆制造的主力，因此我们要引进先进的技术和设备到中国。”NOVELLUS销售、市场和客户满意度执行副总裁Thomas Caulfield在3月22日举行的VECTOR Express™新闻发布会上表示。
VECTOR Express™是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40%，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。
VECTOR Express之所以能够显著提高生产效率和改善薄膜工艺性能，其关键在于SmartSoak™工艺新特点。SmartSoak采用了诺发VECTOR平台独特的多平台顺序处理（MSSP）结构，使晶圆加热和薄膜淀积过程相互独立开来。通过这种方法可以使晶圆温度在薄膜开始沉积时变得更加稳定和一致，同时还能够缩短薄膜沉积的时间。
除了SmartSoak之外，VECTOR Exp
ress还采用了高精度和高速度的机械传送零部件和晶圆自动监测技术，使晶圆机械传送和处理时间缩短了20%以上。此外，VECTOR Express还采用了先进的材料传输新技术，进一步确保该系统能够被拓展到各种薄膜沉积工艺中。
诺发公司电介质事业部高级副总裁兼总经理Tim Archer介绍说：“VECTOR Express为全球领先的存储器和逻辑器件制造商提供了他们所需的最佳薄膜沉积能力。此外，我们为客户提供了非常简单的升级途径，以便提高现有VECTOR设备的生产效率。”
自从于2006年第3季度开始进行beta测试以来，诺发已经收到了20多份有关VECTOR Express系统的订单，其中包括好几个新客户。VECTOR Express将于2007年第2季度正式用于生产。