Tokyo Electron Ltd.先进的自动化湿法工艺设备“Expedius+”用于45nm及其以下技术节点的300mm量产的生产线前段(FEOL)清洗、腐蚀和去胶制程。Expedius+的占地面积减小了20%，并通过缩短晶圆交换时间极大地提高了生产效率，产能达到每小时600片晶圆，从而能够为客户有效降低设备持有成本。系统的工艺性能也因湿法处理、颗粒去除和干燥技术的发展得到了提升。
Tokyo Electron Ltd.
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展台号：E4 - 4443
