SOLA是具有创新性新技术的紫外热处理（UVTP）系统，用于电介质薄膜淀积后的低温处理。SOLA专门为高应力氮化硅和多孔低k电介质等先进材料而设计。这些薄膜应用于90nm以下芯片中，能够帮助提高器件运行速度和降低功耗。SOLA采用了高生产效率多平台顺序处理（MSST）结构，将处理工艺的非均匀性控制在2%以内，从而提高器件的成品率。
Novellus Systems, Inc
www.novellus.com
展台号：E4-4363
