Puma 91xx 系列是在已经被广泛采用Puma 9000系列平台的基础上开发的，是Puma uv光暗场检测系列家族的第二代产品，在缺陷监控方面提供了性能成本之间的优化。它拥有诸多优点，包括灵活的机台配置，为特殊检测而作的模块化设计，并且可以最大程度降低用户的使用成本。Puma 91xx在维持了9000系列同样的灵敏度的同时几乎把产能提高了一倍。产能的提高，新增的像素选择，以及突破性的 StreakTM 技术的应用，使单一机台在没有损失灵敏度的情况下，提供了更宽广的产能选择。而更简单快捷的程式设置过程减少了需要调整的参数数量，亮场程式的导入功能也可以减少一些设程的步骤。同时，自动缺陷分类 (iDO) 增强了分类功能，减少了结果输出的时间。
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