这是一套全面的解决方案，帮助半导体制造商解决193纳米光刻的标线片雾状缺陷（haze）的相关质量和成本问题。当标线片环境中出现空气传播的分子污染物，而且有湿气的时候，不洁物就会沉积在标线片上，从而形成雾状缺陷。为了防止雾状缺陷，标线片一运到晶圆量产代工厂，就必须放置在极为洁净、干燥的环境中。Clarilite Certified系统采用化学净化的气体，为标线片提供持续稳定的洁净环境。该解决方案特别采用Clarilite Certified品牌，综合了应特格的技术、产品、服务，预防标线片的雾状缺陷。这套解决方案包括用于工作流分析、工程设计、气体微观污染、微观环境控制与测试的产品及服务，提供了灵活的功能选项，能够满足客户的具体需求。
Entegris
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展台号：E4 - 4323