Sigma fxP是专为高量产PVD工艺而设计的单晶圆模块化设备。Sigma fxP溅射淀积系统提供卓越的工艺控制，同时具有高的单位时间产量。提供不同的工艺腔室结构和组合以满足多种特定应用，包括Ti/TiN薄膜的淀积和亚-0.35 µm节点器件的铝互连，包括钨塞的电离PVD衬垫，功率器件制造中所应用的厚浮铝层、体声波器件和薄膜磁头的高均匀性氮化铝层。
Aviza Technology
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展位号：E4-4563
