半导体制造设备供应商
Axcelis Technologies, Inc.日前宣布，公司再次自一家亚洲大型
芯片制造商获得了一台
Optima HD高剂量注入设备的订单。据悉，该设备将与今年首季度出货。
Axcelis公司董事会主席兼CEO Mary Puma表示，此番再次获得该“全球最大的芯片制造商之一”的客户订单表明了公司Optima技术深受客户信任。据称，Optima注入平台具有极高的灵活性，并且能够胜任45nm及其以下制程节点的芯片制造。
据悉，Optima HD平台包括三种设备：用于传统高剂量和重叠中剂量注入场合的Optima HD；采用了适于超高剂量、低能量注入的ClusterBoron(R)技术的Optima HD Imax；用于前沿的氢离子源注入的Optima HD Hmax。所有的Optima HD系统均采用了Axcelis专利的点状离子束（Spot Beam）技术，从而可为先进芯片的制造提供极大的扩展性，产率和工艺控制性能。