FABGUARD®传感器整合/分析系统通过监控工艺表现进而防止工艺漂移、污染、设备失效等引起的损失或减少非必要的测试硅片的消耗。FabGuard自动采集来自INFICON内建传感器和设备自身传感器的数据。数据和分析结果被存放在使用结构化查询语言构建的可检索数据库内。通过单一、稳定、简易的操作用户即可浏览相关数据。依靠FabGuard的先进数据分析功能生成的可靠信息能够用于现代化的各类工艺监控中，其包括结果触发类控制（如终点探测等）、行/不行判断和统计学管理以及产品批次监控、实时故障检测、实时工艺修正等。得益于此，工艺表现将可以更为稳定而且隐患能够在不需要消耗大量测试硅片或工艺时间的情况下更早的被察觉。
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