大剂量离子注入机Optima HD是Axcelis离子注入机Optima家族的最新成员。设备能够在源/漏/源/漏延伸区，及多晶硅掺杂等晶体管的制造工艺上实现精确、高产能的大剂量离子注入。Optima系列离子注入机主要定位于满足业界对65纳米乃至更先进的半导体制造工艺的需求。遵循简便和低成本设计思路而制造的Optima系列离子注入机为客户提供完整可拓展性的工艺解决方案，并使客户在设计下一代晶体管和器件结构时得到最大的灵活性以及有效的控制运营成本。
Axcelis Technologies, Inc.
www.axcelis.com
展位号：E4-4000
