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硅片监控设备

   2007-02-09   点击:225


　　全自动硅片监控设备CyberSurf 3D适用于150、200以及300mm硅片。用户能够一次对25枚硅片的图形尺寸、台阶高度、透明薄膜厚度以及粗糙度等特性进行量测。依据测试数据可以对芯片间、硅片间或批次间的表现进行分析。
Fogale Nanotech
www.fogale.com

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