离子注入设备制造商Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.日前宣布，公司的VIISta（R）单晶圆大电流离子注入设备和VIISta平台系统累计出货量已分别突破了300台和600套。
Varian Semiconductor的CEO Gary Dickerson表示，公司的设备获得了各大晶圆代工厂、逻辑芯片制造商以及存储器厂商的青睐，公司的大电流离子注入设备的出货量已经连续三个月打破纪录。
据公司称，VIISta平台是业界唯一已经过生产证明的单晶圆完整解决方案套件，产率和成品率均高于竞争对手的产品，适用于所有中电流、大电流和高能应用场合。所有的VIISta产品均采用了Varian Control System（VCS TM）、Varian Positioning System（VPS TM）和一个共有的单晶圆工作站。VIISta平台的产品间的高
通用性使得客户能够灵活地管理生产、设备备件和员工培训。
英文链接：
http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN561344248.html