角度，目前还没有什么技术能够与RCA清洗以及湿法清洗相提并论，尽管始终有人认为湿法
清洗技术行将没落，但它依然能够经久不衰、活跃在清洗的舞台上，其根本原因是液体对于气体而言，液体清洗具备许多显著的优势。首先，通常情况下，当对某种材料进行溶解时，溶解能力是与溶剂的密度成正比的，而液体密度是气体的1000倍。因此湿法清洗的溶解能力更为优异；其次，我们需要借助许多外力的作用以满足需求，比如说液体的拽力，而液体的拽力比气体更强。因此，当使用超声波清洗技术或喷射清洗技术去除颗粒时，液体表现优于气体。当移除金属时，依靠液体作为媒介也强化了SC2的能力。当然，在某些特定情况下，依靠其它的技术能够去除一些特定材料或物质，但其应用领域较为狭窄，液体清洗技术仍然将是清洗领域的中流砥柱，而且我也相信它将在未来继续扮演着重要的角色。
Glen Gale是SEZ前道清洗工艺项目的副总裁，负责管理SEZ全球前道清洗工艺解决方案的引入和执行，主要集中在半导体前道工艺战略技术需求上。Glen Gale在今年8月由《半导体国际》举办的第三届晶圆清洗研讨会上发表演讲，并加入了《半导体国际》专家委员会。