中芯国际与北方微电子公司和北京中科信公司于9月28日在北京分别签署了200mm集成电路制造设备刻蚀机和离子注入机的采购合同,这是我国自主研制的200mm集成电路制造设备第一次实现销售。
北京中科信此次销售给中芯国际两台200mm离子注入机作为前期销售，分别用于中芯国际天津和成都的FAB生产线上，北方微电子销售的刻蚀机也同样用于中芯国际天津和成都FAB中。“国产200mm集成电路制造设备首次进入FAB生产线，对于国内半导体设备企业是一次重大突破，这种自主研发的模式今后可以渗透到其他半导体设备的研发中。”北京中科信电子装备有限公司副总经理孙勇谈到，“此次签约给了国产设备一个展示的平台，若没有这个平台，国产设备就始终无法与国际接轨。”
北方微电子和北京中科信的200mm设备早在今年初即已进入中芯国际天津七
厂接受验证评估，中芯国际总裁兼首席执行官张汝京博士在4月份上海举行的2006集成电路产业链国际合作论坛上曾对上述国产设备给予了很高评价:“这些国产设备到目前为止效果非常好,不比国外设备差,目前只是缺少量产资料,下一步我们将与厂家在此方面进一步合作。”经过几个月的量产试验，国产设备经受住了考验，最终促使中芯国际签下采购合同。这次签约意义非同寻常，它是对国产200mm集成电路制造设备的肯定，将会大大增加国内FAB甚至国外FAB对中国国产设备的信心。
据了解，国产半导体制造设备的价格只有国外同类产品的三分之二，在价格上具有一定的竞争优势。据孙勇透露，在200mm集成电路制造设备自主研发成功的基础上，北京中科信下一步计划向300mm集成电路制造设备发展